本章主要講述國產(chǎn)光刻機(jī)的曾經(jīng)光輝歷程，以示以往的艱辛和國人智慧。恐有不信者，占用一個(gè)章節(jié)以述。不喜者可直接略過）
“國泰兄弟你居然也知道光刻機(jī)？這個(gè)行業(yè)非常冷門。別說一般人，甚至就連很多官員領(lǐng)導(dǎo)都不知道。”
鄭通元被陳國泰的激烈反應(yīng)嚇了一跳，隨即滿臉驚奇地說道。
“我當(dāng)然知道。鄭大哥，我的專業(yè)是機(jī)械制造，所以我一直都在關(guān)注機(jī)械制造的發(fā)展前沿狀況......從1959年漂亮國人研究出世界上第一臺五軸聯(lián)動加工機(jī)器開始到現(xiàn)在，機(jī)械制造往智能控制發(fā)展的苗頭趨勢已經(jīng)越來越明顯。你說我能不關(guān)注與工控芯片直接相關(guān)的光刻機(jī)嗎？”
陳國泰腦瓜子一轉(zhuǎn)，立即解釋道。
“這個(gè)倒也是哈。我國從52年研究成功第一臺數(shù)控機(jī)床開始，對工控芯片的需求就越來越旺盛，要求的芯片性能也在不斷提升......國防工業(yè)對芯片的需求也與日俱增供不應(yīng)求......”
鄭通元釋然地點(diǎn)了點(diǎn)頭，很自然地講述了起來。
陳國泰立即凝神聽取，不愿錯(cuò)過任何一個(gè)字。
這些知識都是他知識儲備庫里沒有的。
“......1971年之前，因?yàn)槲鞣绞澜鐚ξ覀兊膰?yán)密封鎖，我們所有的工控芯片都是靠著一大群技藝精湛的八級鉗工用手工進(jìn)行制作。這種制作方式雖然讓我們的芯片制程基本達(dá)到當(dāng)時(shí)10微米（一毫米等于一千微米。一微米等于一千納米）級別的世界主流水平，但是也有著非常巨大的缺陷......”
鄭通元滿臉感慨地提到了一個(gè)關(guān)鍵時(shí)間點(diǎn)：1971年。
聽講的陳國泰更加打起了精神。
“......這個(gè)缺陷就是產(chǎn)量極低且良品率極其低下。耗費(fèi)了巨量人力物力制作出來的極少量合格芯片，只能用在最為急需的導(dǎo)彈、衛(wèi)星、火箭以及極少數(shù)最為重要的加工設(shè)備上面......70年前后，國家為了妥善解決這個(gè)問題，終于下定決心集中人力和物力，研究我們自己的光刻機(jī)。說起這事，就不得不提到徐瑞林（此為化名。但的確有這么一個(gè)英雄人物）徐總工。當(dāng)時(shí)上面緊急調(diào)回已經(jīng)下放下去‘學(xué)種水稻’的徐總工，讓他在清大里面緊急組建攻關(guān)團(tuán)隊(duì)......”
提起徐總工這個(gè)人，鄭通元臉上不由自主地露出了深深敬仰之色。
“徐瑞林？清大？鄭大哥，你要說的，是不是咱們清大那個(gè)精密儀器系于1971年在徐瑞林徐總工的帶領(lǐng)下研制成功了我國第一臺光刻機(jī)？”
陳國泰神色一動，忍不住插嘴說道。
“沒錯(cuò)，的確是這樣。當(dāng)時(shí)徐總工是臨危受命......沒有任何圖紙和設(shè)備，就連概念都是模糊不清，一切都是從頭開始，就連每一個(gè)螺絲都要從頭設(shè)計(jì)制造......又沒有任何加班費(fèi)和獎金......但就算是這樣，徐總工帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)硬是從無到有，只用了一年多時(shí)間，就把光刻機(jī)最主要的氣體激光器，以及工件臺的精密導(dǎo)軌、絲杠、滾珠、步進(jìn)電機(jī)、數(shù)控計(jì)算機(jī)，和其它光學(xué)系統(tǒng)、大孔徑投影物鏡等等組件全部研制出來并組裝成功......我個(gè)人覺得，他們團(tuán)隊(duì)的行為比起從頭開始搞‘和平工程’的那批偉大科學(xué)家都不遜色！”
鄭通元講述到這里，禁不住取下眼鏡擦了擦眼角。
“沒錯(cuò)啊。他們都是國之脊梁！應(yīng)該永遠(yuǎn)被我們的國人和所有后代銘記！”
陳國泰對鄭通元提到的人也是肅然起敬，深深嘆服。
“......就這樣，徐總工團(tuán)隊(duì)經(jīng)過一年多時(shí)間的舍命付出，終于在1971年成功研制出我國第一臺光刻機(jī)和分布重復(fù)照相機(jī)，并迅速投入規(guī)模生產(chǎn)，供應(yīng)全國半導(dǎo)體行業(yè)使用，為民生工業(yè)和軍事工業(yè)持續(xù)提供‘心臟’動力......就在去年，那位執(zhí)政之后非常重視科技，此項(xiàng)成果終于榮獲全國科技大會獎。徐總工團(tuán)隊(duì)也終于獲得了應(yīng)有的榮譽(yù)......這臺光刻機(jī)也被稱為我國第一代光刻機(jī)。它讓我國的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”
鄭通元徐徐吐出一口氣，總結(jié)說道。
“鄭大哥，既然那臺光刻機(jī)被稱為第一代，其實(shí)也就意味著有第二代對吧？這方面你能稍微說說嗎？”
聽得心馳神往的陳國泰深吸了一口氣，順勢說道。
“這個(gè)......具體的研發(fā)過程肯定不能說。不過表面上的大體情況還是可以透露一些......徐總工取得成功之后，并沒有就此止步不前。從75年開始，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)采用直接在半導(dǎo)體晶片上光刻集成電路的方法，投入了對‘自動對準(zhǔn)分步投影光刻機(jī)’的研究。這項(xiàng)研究被稱為第二代光刻機(jī)。預(yù)計(jì)成功之后會讓我國的芯片制程突破微米級，正式扣響納米級的大門。因?yàn)樗庸さ淖罴?xì)線寬能達(dá)到零點(diǎn)八微米，也就是800納米......”